目的
光学センサの仕様にかかわらず高精度な温度校正を実現することができる光学センサの校正方法を提供する。
効果
本発明によれば、光学センサの温度応答性を校正するために必要な基準放射源として最適な灰色体放射源からの光を用いて光学センサの温度校正を行うことができるため、校正対象とされる光学センサの仕様によらず高精度な温度校正・試験を実現することができる。
技術概要
基準放射源から放射される光の量を減じる割合に応じた中心角を有する回転翼に前記光を入射させ、
前記回転翼により光量が減じられた前記光を用いて光学センサの温度依存性を校正する光学センサの校正方法。