目的
カルコゲン化物系材料を用いた光吸収層(又は発光層)の公知の製膜方法をそのまま利用でき、また、酸化物層(透明導電膜等)とカルコゲン化物系材料を用いた光吸収層(又は発光層)との境界部分での導電性、透明性に影響を与えることのない光学素子及びその製造方法を提供する。
効果
酸化物層をアルカリ金属含有層とカルコゲン化物系光吸収層(又は発光層)との間に導入した構造の光学素子においても、カルコゲン化物系光吸収層(又は発光層)にアルカリ金属を十分に供給でき、光吸収層又は発光層の公知の製膜方法(３段階法、セレン化法等)をそのまま利用できる。また、酸化物層(透明導電膜等)と光吸収層又は発光層との境界部分での導電性、透明性を劣化させることのない光学素子を製造できる。
技術概要
アルカリ金属を供給する基板の上方に、単層若しくは複層構造若しくは３次元構造の酸化物層、及びアルカリ金属の添加を必要とするカルコゲン化物系材料からなる光吸収層又は発光層の順で積層された光学素子において、
前記アルカリ金属を供給する基板と前記酸化物層との間にアルカリ金属拡散促進層としての機能を有する金属膜を挿入した構造であり、前記金属膜により前記アルカリ金属を供給する基板からのアルカリ金属の前記酸化物層中での拡散を促進させ、そのアルカリ金属を前記光吸収層又は発光層へ供給する構造であることを特徴とする光学素子。
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