目的
チェーン駆動を用いることなく高精度な直線運動を実現可能な直線駆動導入器を提供する。
効果
本発明の直線駆動導入器は、大気側から真空側へ高精度な直線運動を導入する直線駆動導入器であって、さらに、傾斜角自在の機能を備えており、真空内の光学素子や材料の高精度な位置制御や傾斜制御の必要な機器に有効であると期待される。
技術概要
伸縮可能で真空保持可能なベローズと、
前記ベローズの伸縮端側に取付けられたフランジと、
前記ベローズを中心として等間隔に複数の直線ガイドにより案内され、かつ、前記ベローズを中心として等間隔に複数の送りねじにより個々に駆動される複数の移動板と、
前記の複数の送りねじを個々に回転駆動する複数のモーターを備えた直線駆動導入器であって、
前記複数の移動板に前記フランジを取付け、前記複数のモーターで前記複数の送りねじを個々に回転駆動することにより前記複数の移動板を個々に直線駆動して前記フランジを進退動させることを特徴とする直線駆動導入器。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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