適用製品
密閉できる搬送容器を開閉するための開閉装置
目的
より簡便に容器の蓋を開閉することができ、ウエハが容器外の雰囲気に晒される時間を削減し、蓋の開閉に伴う微細な塵等により汚染される可能性を低くする。
効果
本発明によれば、従来の容器とは異なり、容器に直接触れることなく、容器の蓋を確実に密封状態から開けることができ、かつ開けた状態から確実に密封することができ、内容物の収納や取り出しを任意に速やかに行うことができる。しかも蓋の開閉時に塵や埃が発生する量が少ないので、内容物を必要以上に汚染することがない。
技術概要
搬送容器本体と搬送容器扉で構成される搬送容器の搬送容器扉を開閉するための、以下の構成を有する搬送容器の開閉装置。
開閉装置上部には該搬送容器本体を収納できる凹部からなる載置部を設け、
その凹部の内面は該搬送容器本体の外面形状に対応した形状であり、
該載置部底面は、搬送容器扉に形成されている凹部に嵌合する凸部であり、
該載置部底面の搬送用容器扉に設けた磁石に対応する位置には、磁石を収納してなる孔が形成し、
該磁石は該載置部底面を横切るようにして駆動力により上下に移動可能となる機構である。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
