目的
電子デバイス等に利用されるグラフェン膜に接続する電極の剥がれを防止する電極構造を提供する。
効果
ボンディングを行う際に薄膜の電極が剥がれないようにすることができ、グラフェン膜を用いたアプリケーションを作製する際、配線形成により電極剥がれが生じない構造にすることが可能となる。
技術概要
基板上に設けられた絶縁膜と、
絶縁膜上に設けられたグラフェン膜と、
グラフェン膜上に設けられたコンタクト電極と、
コンタクト電極の少くとも一部を覆って設けられ、コンタクト電極がグラフェン層から剥離するのを防止するための導通性を有する電極剥離防止層と、
この電極剥離防止層上に設けられた取り出し電極と、
を備えていることを特徴とするグラフェン膜の電極接続構造。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
