目的
小型・軽量な流量計でゼロ点ドリフト補償を実現した質量流量計を提供する。
効果
脈波伝搬時間を利用することで、管路内の流体の圧力を検出する圧力検出手段のゼロ点ドリフトが補償できるため長期安定した圧力計測を実現できる。
曲がり管を用いた質量流量計において、脈波伝搬時間を利用することで、従来の質量流量計と比べて、流体の遠心力ないし向心力が作用する部分の歪ゲージから算出される圧力や、静圧あるいは温度補償用歪ゲージから算出される圧力のゼロ点ドリフトが補償できるため、温度の急な変化や外力などに対しても長期安定した流量計測を実現できる。
技術概要
内部を流体が流通する管路内の、流体の遠心力ないし向心力が作用する部分に遠心力ないし向心力検出用歪ゲージと、遠心力ないし向心力検出用歪ゲージとは異なる位置に、流量のゼロ点ドリフト補正用の歪ゲージを貼りつけ、この2点間の脈波伝搬時間を利用して流量のゼロ点ドリフトを補償する質量流量計。