目的
従来技術の流路構成を簡素化し、従来技術よりも高精度でのナノ粒子の濃度測定を実現できる凝縮粒子カウンターを、従来技術よりも低価格で提供する。
効果
ナノ粒子の濃度減衰が最小限でありかつ作動液蒸気により凝縮成長する確率が最も高い軸周辺で、液滴へと凝縮成長したナノ粒子を、選択的に液滴検出部へと等速吸引することにより、測定される粒子数濃度を凝縮粒子カウンター入口での実際の粒子数濃度へと最大限近づけることができる。
液滴検出部へと吸引される流量を直接測定できるため、濃度算出に必要なサンプル流量の不確かさを従来技術の１／６〜１／１０の範囲へと低減し、高精度なナノ粒子計測を可能とする。
技術概要
飽和部とその上部に接続された凝縮成長部を備えた凝縮粒子カウンターであって、前記凝縮成長部を構成する凝縮成長管の中心軸に沿って突出して開口する吸引管を設け、吸引管の下流に液滴検出部を設け、液滴検出部の下流に流量測定部を設け、流量測定部の下流に吸引手段を設け、前記飽和部の上流側にサンプル流を導入し、導入されたサンプル流の一部分を、前記吸引管から液滴検出部へ等速吸引し粒子計数頻度を測定し、液滴検出部の下流で直接測定された流量で割り算することにより、サンプル流の粒子数濃度を算出することを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
