目的
ｐＴ以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る微小磁気二次元分布検出装置の提供。
効果
本技術の微小磁気二次元分布検出装置によれば、ｐＴ以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る。また、試料台の振動の周波数から離れた周波数の磁気ノイズの影響を抑制することが出来る。
技術概要
本技術は、ＳＱＵＩＤと、検査面を有する試料を検査面がＳＱＵＩＤに対面するように保持する試料台を有し、試料台を加振手段にて振動させる。そして、ＳＱＵＩＤに対して試料台を検査面の方向に二次元的に相対移動させる走査手段にて相対移動させる。また、ＳＱＵＩＤを介して振動の周波数の磁気信号成分を検出する電子回路を具備したことを特徴とする。この微小磁気二次元分布検出装置では、試料の検査面をＳＱＵＩＤに対面させながら試料を振動することにより、ｐＴ以下の微小な磁気を検出できる。また、ＳＱＵＩＤに対して試料台を検査面の方向に二次元的に相対移動させることにより、検査面を二次元的に走査できる。よって、ｐＴ以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る。また、振動の周波数の磁気信号成分を検出するので、振動の周波数から離れた周波数の磁気ノイズの影響を抑制することが出来る。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
