適用製品
膜面に対し垂直に配向した微小な細孔、機能材料、筒状構造の集合体、細孔配列の規則性、ナノインプリント用モールド
目的
細孔周期が１５０ｎｍから２５０ｎｍの範囲での陽極酸化ポーラスアルミナでは、細孔が縦、横６×６個以上の範囲で三角格子状に欠陥なく配列した陽極酸化ポーラスアルミナの作成条件はいまだ明らかにされていないことに鑑み、幅広い分野への応用展開が期待される細孔周期が２００ｎｍ程度であり、各細孔が三角格子状に縦、横６個×６個以上理想配列した陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法の提供。
効果
周期１５０ｎｍから２５０ｎｍの細孔が、目標とする大きさ以上の領域にわたって理想三角格子状に配列されたポーラスアルミナを得ることができ、このような広い領域にわたって高規則性配列の細孔を有するポーラスアルミナは、ナノインプリントをはじめとする機能性材料として幅広い分野に適用することができる。
技術概要
この技術は、陽極酸化のみにより形成された細孔周期１５０ｎｍから２５０ｎｍの陽極酸化ポーラスアルミナであって、細孔が、縦、横６個×６個以上の範囲で理想三角格子状に配列されているものからなる。このような陽極酸化ポーラスアルミナは、化成電圧７０Ｖから１３０Ｖの範囲で地金アルミニウムを電解液中で陽極酸化することで作製することが可能である。また、陽極酸化ポーラスアルミナは、１Ｍ以上の濃度のシュウ酸を主成分とする電解液を用いて、陽極酸化することが望ましく、陽極酸化時の浴温を２５℃以上（特に、２５℃から４０℃）とすることが好ましい。見出された陽極酸化条件では、陽極酸化の際に試料に過剰な反応熱が生じるために、試料全面にわたって均一に陽極酸化皮膜を形成することが容易でないが、陽極酸化の際の温度、電圧、電解液濃度を段階的に上昇させて目的の値にする手法を用いると、再現性よく陽極酸化を行うことが可能となる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
