目的
測定対象の位置設定精度に対する厳しい条件がなく、２次関数の表面形状成分を含む表面形状も測定できる形状測定方法及び装置を提供する。
効果
位置設定精度に対する厳しい条件がなく、表面形状成分を含む表面形状も正確に測定できる形状測定方法及び装置とする事が出来る。
技術概要
レーザ光源１０からのレーザビームを測定対象表面上で高速に１次元走査し、かつ同時に測定対象３０の表面の傾斜によるレーザビームの角度振れを検出する光学系で構成される形状測定装置を得る。本装置では、平面ミラー２１と凹球面ミラー２２の位置関係を設定し、かつ角度振れを受けた反射レーザビームをレンズ４１により光ビーム検出器４２上に導くことにより、測定対象３０表面の傾斜によって測定対象面からの反射レーザビームの伝搬方向が異なることから表面形状の測定を行う。このため、正確に角度振れを検出することができ、測定対象３０の位置設定精度に対する厳しい条件はなくなり、２次関数の表面形状成分を含む表面形状も正確に測定する事ができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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