目的
焼結助剤の種類を限定することなく、より迅速に窒化ケイ素焼結体を得ることができる、窒化ケイ素焼結体の製造方法を提供する。
効果
焼結助剤の種類を限定することなく、より迅速に窒化ケイ素焼結体を得ることができる、窒化ケイ素焼結体の製造方法を提供することができる。
エンジン部品材料、ベアリング材料、工具材料、およびパワーデバイスの放熱基板等に利用され得る、窒化ケイ素セラミックスの製造に利用することができる。
技術概要
窒化ケイ素焼結体の製造方法であって、
(1)ケイ素粒子および還元作用と窒化促進作用を有する成分を含む原料を準備する工程と、
(2)窒素ガスを含む環境下で、前記原料中のケイ素を窒化ケイ素に変化させる工程と、
(3)窒素ガスを含む環境下、1600℃〜1950℃の温度で、前記窒化ケイ素を焼結させる工程と、
を有する製造方法。