適用製品
基板、フィルム、部材表面検査装置、部材表面検査方法
目的
部材表面を自動で検査する場合に、低コストでかつ短時間で部材表面が正常であるか否かを正確に判定することができるようにする部材表面検査装置の提供。
効果
低コストでかつ短時間で部材表面が正常であるか否かを正確に判定することができ、工場の製造ライン等に好適に用いることができる。
技術概要
この技術では、部材表面に光をライン状に照射する照射手段と、照射手段により部材表面に照射した光の部材表面での反射光を受光する受光手段とを備え、受光手段で受光した反射光の光強度に基づいて部材表面を検査する部材表面検査装置を対象として、部材表面と受光手段との間に、ライン方向から見て部材表面上の光照射部を通る２つの異なる所定の直線の間を通る反射光を受光手段へと導くことが可能なレンズを配設する。また、受光手段は、部材表面上の光照射部をライン方向に等分割してなる各ライン分割部毎に、ライン分割部で反射した反射光のうち、ライン方向から見て２つの直線間の角度範囲を等角度分割してなる各角度分割部を通った反射光を、レンズを通してそれぞれ受光することが可能に構成する。さらに、受光手段により受光した各ライン分割部毎の各角度分割部の反射光の光強度に基づいて、部材表面が正常であるか否かを判定する判定手段を備える構成とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
