適用製品
振動体と試料とを原子間力が働く距離まで接近させる制御
目的
振動体の変動周波数に距離や、経過時間や雰囲気温度に依存するゆらぎがあっても、ゆらぎによってアプローチ動作が終了することなく、かつプローブと試料間に設定値以上の短距離力が働くことを避けながら、原子間力が働く距離まで振動体と試料とを正確に接近させることができる制御装置、原子間力顕微鏡、制御方法およびプログラムの提供。
効果
閾値周波数が変動周波数のゆらぎに応じて再設定されるので、変動周波数にゆらぎがあっても、ゆらぎによってアプローチ動作が終了することなく、かつプローブおよび試料に損傷を与えることなく、原子間力が働く距離まで振動体と試料とを正確に接近させることができる。
技術概要
本技術は、試料と振動体とを接近させる方向に移動する機構部による試料または振動体の移動を制御する制御部と、予め定める基準周波数に対して変動する振動体の変動周波数を検出する検出部とを含み、制御部は、試料または振動体の移動を開始するように機構部を制御した後、予め定める条件が満たされる度に、予め定める条件が満たされた時点で検出部によって検出された変動周波数に予め定めるオフセット周波数を加算した周波数を閾値周波数として設定し、設定した後、検出部によって検出される変動周波数が閾値周波数以上になると、試料または振動体の移動を停止するよう機構部を制御する制御装置である。また、予め定める条件は、制御部が機構部による試料または振動体の移動を開始させたとき、または制御部が機構部による試料または振動体の移動を開始させた後、予め定めるオフセット周波数を加算した周波数を閾値周波数としたときから、機構部が試料を予め定める距離移動したという条件であることを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
