適用製品
シアフォース方式でプローブ先端と試料表面との距離を制御
目的
複数のプローブの相対距離を精度良く制御することができる走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出方法の提供。
効果
第１及び第２プローブを走査する際に一方のプローブに特定周波数の振動を付与し、両プローブの特定周波数の振動を監視するようにした。そして、両プローブのうちの少なくとも一方において特定周波数の振動が変化したことに基づき、両プローブが近接したことを検出するようにしたので、第１及び第２プローブの走査時に両プローブが衝突することを未然に防ぐことができる。
技術概要
本技術は、試料表面との距離を一定に保持しながら試料上を走査する第１及び第２プローブを有する走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対して相対的に第１プローブを走査する第１走査手段と、試料に対して相対的に第２プローブを走査する第２走査手段とを有し、第１プローブ及び第２プローブのいずれか一方に振動付与手段にて特定周波数の振動を付与する。第１プローブ及び第２プローブの特定周波数の振動を振動監視手段にて監視する。第１プローブ及び第２プローブの少なくとも一方の振動が変化したことに基づき第１プローブと第２プローブが互いに近接したことをプローブ近接検出手段にて検出する。プローブ近接検出手段の検出結果に基づき第１及び第２走査手段を制御手段にて制御する。ここで、第１プローブは、１本に限らず複数本の場合を含む。同様に、第２プローブも１本又は複数本の場合を含む。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
