適用製品
ポリッシング装置、マグネット定盤、ＮＣ加工装置、超精密加工法
目的
難加工物、特にＳｉＣやＧａＮ等を、加工効率が高く且つ高精度に加工することが可能な新しい加工法、即ち、被加工物表面に格子欠陥が導入されない化学的な反応が可能な触媒作用を利用した加工原理に基づき、結晶学的に優れた加工面が得られる磁性微粒子を用いた触媒化学加工方法及び装置の提供。
効果
この技術の触媒化学加工方法及び装置によれば、定盤若しくは加工ヘッドに磁場により拘束し、空間的に制御された遷移金属の磁性微粒子を、被加工物の被加工面に極低荷重のもとで接触させるので、被加工面に磁性微粒子によるスクラッチは全く生じず、そして微粒子表面で酸化剤から生成された強力な酸化力をもつ活性種を、この微粒子に接触した被加工物の極近傍の表面原子と化学反応させ、それにより生成した化合物を除去、あるいは溶出させて加工するので、結晶学的に優れた被加工面が得られる。
技術概要
この技術の触媒化学加工方法は、酸化剤の溶液中に被加工物を配し、定盤若しくは加工ヘッドに磁場により拘束し、空間的に制御された遷移金属の磁性微粒子を、被加工物の被加工面に極低荷重のもとで接触させるとともに、被加工面と磁性微粒子とを相対的に変位させ、磁性微粒子の触媒作用により、磁性微粒子表面上で生成した酸化力を持つ活性種と被加工物の表面原子との化学反応で生成した化合物を除去、あるいは溶出させることによって被加工物を加工することを特徴とするものである。ここで、用いられる酸化剤はＨ↓２Ｏ↓２であることが好ましい。また、磁性微粒子は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏから選択した１種又は２種以上の組み合わせ、あるいはＦｅ、Ｎｉ又はＣｏを含む化合物若しくは合金からなることが好ましい。また、被加工物は、結晶性ＳｉＣ、焼結ＳｉＣ、ＧａＮ、サファイヤ、ルビー、ダイヤモンド、ガラスの内から選ばれた１種であることが好ましい。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
