適用製品
粘度計、振動粘度計の測定理論と、振動子の形態
目的
粘度のみが単独で測定でき、測定のためにアクチュエータが発生する力を明確にする必要がなく、誤差の少ない振動式粘度計を実現する。
効果
単に振動体と、感力板の変位を測定するだけで、粘度を単独で測定できる振動粘度計を実現する。このような振動粘度計は、誤差が少なく、コスト面で優れている。そのため、産業上のさまざまな場面での粘度測定のための設備コストを低減し、粘度をより簡便に、かつ高精度に測定することが可能になる。
また、感力板と振動体を二重渦巻き構造とすることによりコンパクト化が図れ、さらに、ＭＥＭＳ加工技術を用いて作製すればより一層のコンパクト化が図れる。
技術概要
強制振動体と、強制振動体とわずかな間隙を介して設置された感力板と、振動体をアクチュエータに結合させるための構造と、強制振動体を駆動するためのアクチュエータと、強制振動体の変位を検出するための変位センサと、感力板をバネに結合させるための構造と、感力板に変位を起こさせるばね構造と、感力板の変位を検出するための変位計と、前記ばね構造、アクチュエータ、及び、変位計を固定するための支持体とを備えることを特徴とする粘度計。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
