目的
薄膜の微小構造を高いコントラストで観測でき、かつ膜厚を定量的に測定することができる膜厚分布測定装置を提供する。
効果
薄膜の微小構造を高いコントラストで観測でき、かつ膜厚を定量的に測定することができる。
技術概要
このエリプソメトリー顕微鏡１は、光源２と偏光子５と位相補償子６と対物レンズ８とを備え試料Ｓを所定角で照明する斜め照明系と、対物レンズ８と結像レンズ１５と検光子１６とにより試料Ｓを撮像装置１７の検出面１８に検出する結像系とを備え、被写体に対向した対物レンズ８と、当該被写体の像を結像する結像レンズ１５とを有した結像系と、結像系に設けられた検光子１６と、同結像系により結像した像を検出面で検出する撮像装置１７と、光源２と、対物レンズ８の光軸とその光軸をずらし、その焦点面を対物レンズ８の後側焦点面と一致するように配置して、光源からの光を集光する集光レンズとを有し、対物レンズを介して被写体をｐ偏光に対する反射率がおおむね最小となるような入射角で平行光を照明する斜め照明系と、斜め照明系の光路に設けられた偏光子と、同斜め照明系の偏光子と被写体の間に設けられた位相補償子とを備えた膜厚分布測定装置である。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
