目的
電磁波の共振現象を利用する共振素子を採用しつつ、製作が容易で、かつ、機械的強度の高い面状のものを提供。
効果
本技術に係るプラズマ電子密度測定用の面状共振素子並びにプラズマ電子密度測定方法及び装置は、例えば、薄膜素子の製造工程や、粒子ビーム源又は分析装置等に用いられるプラズマにおけるプラズマ電子密度を測定する際に適用することができる。
技術概要
本技術のプラズマ電子密度測定用の面状共振素子は、導電板を備える本体と、外皮導体及び外皮導体内に充填された絶縁材料中に埋設された芯導体がそれぞれ本体の一面に電気的に接続された同軸ケーブルとを備え、電磁波の共振現象を利用して、容器内に生成したプラズマの電子密度を測定するプラズマ電子密度測定用の面状共振素子であって、本体は、両端のうちの一端が本体の外縁に開口する細長空間部の閉端部に隣接する連結部と、連結部を境に仕切られるとともに連結部により一体に連結された第１面部及び第２面部とからなり、同軸ケーブルの外皮導体が第１面部及び第２面部のうちの一方に接続されるとともに、同軸ケーブルの芯導体が第１面部及び第２面部のうちの他方に接続されている。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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