目的
試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供する。
効果
試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供できる。
技術概要
試料Ｓの表面上方においてプローブ粒子Ｐを浮遊させ、この浮遊しているプローブ粒子の像を撮像して得られたプローブ画像に基づいて試料Ｓの表面情報を取得する表面情報取得装置１Ａであって、プローブ画像におけるプローブ粒子の大きさを規定する測定値を求める大きさ規定値特定手段と、プローブ画像におけるプローブ粒子の大きさを規定する値と基準面からのプローブ粒子の距離との関係を示す校正データと、大きさ規定値特定手段で求められた測定値と、に基づいてプローブ粒子の基準面からの位置情報を取得する位置情報取得手段と、プローブ粒子の位置情報に基づいて試料の表面情報を取得する表面情報取得手段と、を備える。試料及びプローブ粒子は、同符号で荷電している。プローブ粒子は球体である。プローブ粒子を照射する光を出力する光源をさらに備える。画像処理装置１０は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Ｐの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Ｐの試料Ｓ表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置４によって撮像されたプローブ粒子Ｐの直径とに基づいて、プローブ粒子Ｐの位置情報を得る。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
