適用製品
焦電特性、圧電特性、超音波センサ、赤外線センサ
目的
強誘電体薄膜の下部電極としての導電性酸化物薄膜を、γ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜をバッファ層として用い、成膜条件を最適化することにより、特性の改善を図った強誘電体素子の提供。
効果
この技術は、半導体基板上に、バッファ層としてγ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜を用い、その上に各薄膜を形成する構成であるため、各薄膜の結晶性を向上させることができる。また、強誘電体薄膜の下部電極の酸化物電極薄膜の結晶性を向上させることにより、優れた特性を持つ強誘電体薄膜を得ることができる。
技術概要
この技術は、半導体基板上にエピタキシャル成長されたγ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜を有し、γ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜上に、ペロブスカイト構造の擬立方晶の金属酸化物層ＡＢＯ↓３（Ａは、Ｓｒ、Ｌａからなる群より選ばれる少なくとも１種、Ｂは、Ｒｕ、Ｎｉからなる群より選ばれる少なくとも１種）を有する酸化物電極薄膜をさらに備えることを特徴とする半導体基板上の積層構造を有する。この構成によれば、半導体基板上にエピタキシャル成長されたγ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜の上に酸化物電極薄膜を形成するため、酸化物電極薄膜の結晶性を良好なものとすることができる。また、γ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜の上に酸化物電極薄膜を形成するため、γ−Ａｌ↓２Ｏ↓３単結晶膜と酸化物電極薄膜との密着性を向上させることができる。なお、擬立方晶とは、斜方晶の中に立方晶を２つ重ねた構造をもつ結晶構造のことである。また、この技術では、酸化物電極薄膜上に、配向性の強誘電体薄膜を積層させている。この構成によれば、配向性の強誘電体薄膜を形成することができるため、特性の優れた強誘電体薄膜を得ることができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
