目的
歩留まり良く製造することが可能で、しかも構造上、作製上の制約が少ない微小カンチレバー及びその製造方法を提供する。また、配線や電極、電子素子、光素子等を複合して作り込むことが可能な微小カンチレバー及びその製造方法を提供する。さらに、作製後に形状や向き等を変更したり、微調整することが可能な微小カンチレバー及びその製造方法を提供する。
効果
半導体歪多層構造基板をもとにした微細な立体構造をビームあるいはチップとする新規な微小カンチレバーを提供することが可能であり、また、構造上、作製上の制約が少ない微小カンチレバーを提供することが可能である。
技術概要
図１は、微小カンチレバーを示す。微小カンチレバー１は、プローブ２と小台座３、さらには台座４とから構成されている。ここで、前記プローブ２にはチップあるいはビームが形成され、プローブ２（チップ及びビームの少なくとも一方）と小台座３は半導体歪多層構造基板からエッチング等を利用した一体成型法により作製される。一方、大きい台座４は、セラミックス、ガラス、あるいは水晶を加工することにより作製され、台座４とプローブ２とは小台座３を接着剤により貼り合わせるか、または高温で液体化するガラス、あるいは金属を挟んで圧着することにより複合化される。なお、台座４についても、半導体歪多層構造基板によりプローブ２（チップやビーム）や小台座３と一体成型により作製されていてもよい。図２は微小カンチレバーの作製工程を示し、（ａ）はフォトリソ技術によるパターニング後の半導体歪多層構造基板の概略平面図、（ｂ）はフォトリソ技術によるパターニング後の半導体歪多層構造基板の概略断面図、（ｃ）は犠牲層エッチング後の歪層の変形の様子を示す概略断面図である。図３は作製した微小カンチレバーの電子顕微鏡写真である。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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