目的
共振周波数シフトを高速に検出できる原子間力顕微鏡の提供を目的とする。
効果
センサの検出信号から抽出した基準信号と位相シフト信号の位相差を求めることで、共振周波数シフトが検出される。これにより、従来のようにＰＬＬ回路を用いなくても、共振周波数シフトを検出でき、例えば、カンチレバー振動の１周期毎の検出が可能になる。したがって、高速に共振周波数シフトを検出できる。
技術概要
原子間力顕微鏡は、カンチレバーを共振周波数で自励発振させ、カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトに基づいて試料の情報を得る。 変位センサは、カンチレバーの変位を検出し、共振周波数シフト検出部は、変位センサの検出信号に基づいてカンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトを検出する。 この共振周波数シフト検出部は、変位センサの検出信号から、カンチレバーの振動に応じた周期を有し、カンチレバーの共振周波数シフトに応じた位相変化が制限された基準信号を抽出する。また、変位センサの検出信号から、カンチレバーの振動に応じた周期を有し、カンチレバーの共振周波数シフトに応じて位相がシフトする位相シフト信号を抽出する。 この基準信号と位相シフト信号に基づいて、基準信号に対する位相シフト信号の位相差を求めることにより、共振周波数シフトを求める。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
