目的
駆動制御の制御対象の振動を効果的に低減できる走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）の提供を目的とする。 また、制御対象に対してアクティブダンピングを効果的に行えるアクティブダンピング駆動制御技術を提供することにある。
効果
調整関数の処理を経た駆動信号が制御対象に供給することにより、駆動制御の制御対象の振動を効果的に低減できる。また、調整関数を用いることで、制御対象に対してアクティブダンピングを効果的に行うことができる。
技術概要
Ｚ走査制御部が駆動制御部として機能し、制御対象であるＺスキャナを制御する。 駆動制御は、調整関数の処理を経た駆動信号を制御対象に供給することにより行われ、調整関数は、制御対象に対応する模擬伝達関数を利用し、調整後の駆動信号に模擬伝達関数の処理を施すと模擬伝達関数の出力信号の振動が低減するように駆動信号を調整する。 調整関数処理の構成は、模擬伝達関数Ｇ（ｓ）の処理を駆動信号に施し、目標伝達関数の逆数に相当する逆目標伝達関数Ｋ（ｓ）の処理をＧ（ｓ）の出力に施し、駆動信号とＫ（ｓ）の出力の差分を求め、その差分にゲインｇを付与し、ゲイン付与後の信号を駆動信号に加算する。 これにより、Ｇ（ｓ）の出力が、Ｋ（ｓ）の逆数である目標伝達関数に近似する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
