目的
カンチレバー振動の位相検出を高速化できる原子力間顕微鏡を提供する。
効果
位相が固定された基準波信号と、カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号とを用いることによって、高速な位相検出が可能になる。
技術概要
カンチレバーが励振され、カンチレバーと試料が相対的に走査される。カンチレバーの変位がセンサにより検出される。 発振器は、カンチレバーの励振信号を生成すると共に、励振信号に応じた周波数を有しており位相が固定された基準波信号を生成する。 トリガパルス生成回路は、カンチレバーの変位に基づき、カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成する。 位相信号生成回路は、基準波信号とトリガパルス信号に基づき、パルス位置における基準波信号の大きさに応じた信号を、カンチレバーの振動の位相信号として生成する。 基準波信号としてはノコギリ波が使用される。 位相信号生成回路はサンプルホールド回路で構成される。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
