目的
走査中に励振効率が変化しても、長時間安定に使用可能な走査型プローブ顕微鏡の提供を目的とする。
効果
カンチレバーの振動の整数倍成分振幅が検出されて、整数倍成分振幅に基づいて励振強度が調節される。整数倍成分振幅は、探針−試料間の接触の強さに敏感である。励振強度は、励振源の強度（振幅）であり、励振源は例えば圧電素子である。本発明により、励振効率が変化しても、励振源サイドの励振強度が調節制御されて整数倍成分振幅が維持される。これにより、カンチレバーサイドでは探針部分の実際の接触強さと振幅が保たれる。したがって、長時間安定に顕微鏡を使用することが可能になる。
技術概要
カンチレバーが励振され、カンチレバーと試料が相対的に走査される。 ２倍波成分検出回路は、整数倍成分振幅として、カンチレバーの振動の２倍波成分振幅を検出する。 ２倍波成分振幅は、励振周波数の２倍の周波数を持つ２倍波成分の振幅である。 励振強度調節回路は、検出された２倍波成分振幅に基づいて、２倍波成分振幅を一定に保つように励振強度を制御する。 この発明によれば、カンチレバーの振動の整数倍成分振幅が検出されて、整数倍成分振幅に基づいて励振強度が調節される。整数倍成分振幅は、探針−試料間の接触の強さに敏感である。励振強度は、励振源の強度（振幅）であり、励振源は例えば圧電素子である。励振効率が変化すると、励振源の励振強度および振幅に対するカンチレバーの実際の振動強度および振幅が変化する。この発明は、励振源の励振強度を調節して整数倍成分振幅を維持する。整数倍成分振幅が維持されれば、カンチレバーの実際の強度および振幅が維持される。つまり、整数倍成分振幅に基づき励振源サイドの振動強度が調節されるので、カンチレバーサイドの実際の振動強度と振幅が維持される。したがって、励振効率が変化しても安定して顕微鏡を使用できる。
基本情報
開放特許情報
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