目的
走査速度を向上できる走査型プローブ顕微鏡の提供を目的とする。
効果
カンチレバーに光が照射されて、熱膨張変形によってカンチレバーが変位する。この変位を利用してＺ方向の走査が行われる。カンチレバーは非常に小さく、高い共振周波数を持つ。したがって、Ｚ走査の構成の共振周波数が高くなり、走査速度を増大できる。また、従来の自己アクチュエーションタイプのカンチレバーに見られるようにカンチレバーが硬くなるのを回避することができる。
技術概要
駆動レーザユニットは、カンチレバーにレーザ光を照射して熱膨張変形を生じさせる。 駆動レーザ制御部は、センサにより検出されたカンチレバーの変位に基づき、レーザ光の強度を制御することによってカンチレバーのフィードバック制御を行う。 熱応答補償回路は、カンチレバーの熱伝達関数の逆伝達関数に等価な構成を有しており、光照射に対するカンチレバーの熱応答の遅れを補償する。さらに、レーザ光強度の制御によってカンチレバーが励振されてよい。光強度の制御によって、レバー共振系のＱ値も制御される。原子間力顕微鏡の走査速度を増大することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
