目的
小型化及び軽量化を図ることができる高感度な全反射蛍光Ｘ線分析装置及び全反射蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
効果
Ｘ線源から放射されるＸ線を単色化することなくそのまま試料を照射するため、全反射蛍光Ｘ線分析装置の小型化を図ることができる。また、Ｘ線源から放射されるＸ線を単色化しないため、小型の低電力のＸ線源を用いることができる。従って、遮蔽部材を軽量にしたり不要にしたりすることができ、全反射蛍光Ｘ線分析装置の軽量化を図ることができる。
技術概要
全反射蛍光Ｘ線分析装置は、試料台に水溶液試料を滴下し乾燥させ、試料台上に残った残渣に１次Ｘ線を照射することにより水溶液試料中の微量な元素分析を行うものであって、１次Ｘ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線照射部のＸ線照射により発生する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出部とを備え、Ｘ線照射部が微弱な非単色化Ｘ線を照射する。「微弱な非単色化Ｘ線」とは、例えば５Ｗ以下のＸ線管から照射される非単色化Ｘ線をいう。この蛍光Ｘ線分析装置１０は、制御部１１とＸ線照射部１３と、検出部１４を備えている。制御部１１は、操作部１２からの操作信号を受けてＸ線照射部１３及び検出部１４を制御する。Ｘ線照射部１３は駆動回路１３１とＸ線管１３２から成り、駆動回路１３１によって駆動されたＸ線管１３２はＸ線を放射する。Ｘ線管１３２から放射されたＸ線は導波路１５を通り試料台載置部１６に着脱可能に装着された試料台１７に入射する。検出部１４はＸ線検出器１４１とＸ線検出器１４１の検出信号を増幅する増幅器１４２から成る。試料台１７には１次Ｘ線として非単色化Ｘ線が照射されるように構成されている。
改善効果１
Ｘ線をモノクロ化するための構成が不要であるとともに、小型の低電力のＸ線源を用いることができるので、このように携行可能な蛍光Ｘ線分析装置を実現することもできる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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