目的
薄層化が可能であり、高周波の作用により強い電磁ノイズが発生するため従来は利用できなかった環境であっても使用可能な圧電センサの提供。
効果
本技術によれば、第１圧電体膜および第２圧電体膜または誘電体膜にて検出される検出信号の最大振幅に関する検出能を向上させることができ、各部材の積層構造によって圧電センサの薄型化を実現できる。また、第１圧電体膜、および、第２圧電体膜または誘電体膜を備える差動型の構造であるため、ノイズを有意なレベルまで低下させることが困難な高周波電源を利用する環境下であっても信号の検出が可能であるという効果を奏する。
技術概要
本技術は、第１圧電体膜、第１電極、絶縁体層、第２電極、および、圧電体膜と同一の比誘電率および静電容量を有する、第２圧電体膜または誘電体膜が積層された圧電センサであって、第１圧電体膜と第２圧電体膜とは同一の極性面を対向させて配置され、絶縁体層の層方向の面積は、第１圧電体膜の層方向の面積と同じかまたは小さく、かつ、第２圧電体膜または誘電体膜の層方向の面積と同じかまたは小さい。これにより、第１圧電体膜、および、第２圧電体膜または誘電体膜に加わる設置圧力をより効果的に大きな状態にして圧電センサを設置することができる。その結果、第１圧電体膜および第２圧電体膜または誘電体膜にて検出される検出信号の最大振幅に関する検出能を向上させることができ、しかも各部材の積層構造を有することによって薄型の圧電センサを実現できる。
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開放特許情報
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登録者情報
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