目的
簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置を提供する。
効果
簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができる。
技術概要
カーボンナノチューブの製造方法は少なくとも一部の表面が酸化ケイ素である平板状の基板と塩化鉄とが載置された管内を排気するステップと、管内を塩化鉄が昇華する所定温度に調整するステップと、所定温度に調整された管内に炭化水素のガスを供給し、化学気相成長法により基板上にカーボンナノチューブを垂直配向させるステップと、を含む。ＣＶＤ装置１０は電気炉１２を備えており、電気炉１２内には石英管１４が通されており、この石英管１４の周囲にはヒータ１６、熱電対１８が設けられている。石英管１４の一方には、ガス供給部２２が接続されており、石英管１４の他方には圧力調整バルブ２３及び排気部２４が接続されている。ガス供給部２２、圧力調整バルブ２３及び排気部２４は制御部２０によって制御される。排気部２４により石英管１４内を真空排気し、ヒータ１６により石英管１４内を触媒２６が昇華する温度に昇温させてから、ガス供給部２２によりアセチレンガス３０を石英管１４に流入させる。これにより触媒２６とアセチレンガス３０とが気相反応し石英基板２８上にカーボンナノチューブが垂直配向する。
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