目的
撮像対象が高速に変化する場合であっても、像に歪みが発生しないようにして、ダイナミックレンジを拡大可能な固体撮像装置を提供する。
効果
撮像対象が高速に変化する場合であっても、像に歪みが発生しないようにして、ダイナミックレンジを拡大可能な固体撮像装置及びその駆動方法を提供することができる。
技術概要
第1導電型の半導体領域と、半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型表面埋込領域と、半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、表面埋込領域から転送されたフォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の転送電荷蓄積領域と、転送電荷蓄積領域から信号電荷を読み出す読み出し用バッファアンプとを備える画素を複数配列した固体撮像装置の駆動方法である。半導体領域18とフォトダイオードをなす表面埋込領域22b及び22a、表面埋込領域22a、22bから転送されたフォトダイオードが生成した信号電荷を夫々蓄積する転送電荷蓄積領域23a、23b、転送電荷蓄積領域23a、23bから信号電荷を読み出し用バッファアンプとを備える画素を複数配列した画素アレイ部と、表面埋込領域22aから転送電荷蓄積領域23aへの電荷の転送を複数回の部分転送でなし、表面埋込領域22bから転送電荷蓄積領域23bへの電荷の転送を全転送としてなす画素を駆動する周辺回路部とを備え、表面埋込領域22bのポテンシャル井戸の深さが、表面埋込領域22aよりも深い。
改善効果1
微弱光に対する信号をノイズの増加なく読み出しながら、信号のダイナミックレンジを拡大可能な固体撮像装置及びその駆動方法を提供することができる。