目的
結晶質・非結晶質といった固体物質の状態を問わずに、微小サイズの試験片の熱膨張量を計測可能とする熱膨張量計測システムを提供する。
効果
試料の膨張量(または収縮量)を、この試料を挟持する部材の角度関係の変化として計測するときに、光の干渉縞の変化を利用する。そのため、従来技術と比べてより正確で実用性の高い熱膨張量(または熱収縮量)の計測を行うことが可能となる。そのため、各種微小サイズの試料の熱膨張量や熱膨張係数を測定する装置やその部品を製造する分野に利用することができるだけでなく、さらには、熱膨張以外の微量な体積膨張や収縮を測定する分野にも広くするにも応用することが可能である。
技術概要
図1は試料台および傾斜半透鏡により試料を挟持して干渉縞の変化を測定する要部の構成を示す模式図、図2は熱膨張・収縮量計測システムを示す模式図であり、図1に示す要部を有する構成を示す。熱膨張・収縮量計測システムは、試料台11、傾斜半透鏡(透光板部材)12、加熱炉(試料温度変化手段)13、防振・除振機構(防振・除振手段)14、配管15およびバルブ16、共焦点レーザー顕微鏡(顕微鏡手段)20、画像記録部(画像記録手段)31、パーソナルコンピュータ(画像解析手段および/または制御手段)32とに分けることができる。制御としては、例えば、(1)加熱炉13による試料10および試料ホルダーの経時的な加熱(または冷却)を制御する、(2)加熱炉13による試料10および試料ホルダーの経時的な加熱(または冷却)に対応させて、共焦点レーザー顕微鏡20による観察動作を制御する、(3)加熱炉13による試料10および試料ホルダーの経時的な加熱(または冷却)に対応させて、画像記録部31によるレーザー顕微鏡手段の観察画像の記録を制御する、等を挙げることができる。