適用製品
簡便な操作で得られ、携帯情報端末やデジタルカメラ、外付ＨＤＤ等に広く利用される。
目的
小型化可能で３次元的に作用する加速度を検出可能な加速度センサ及び加速度センサを備えた加速度検出装置を提供する。
効果
従来のバルクマイクロマシニング技術で作製された加速度センサと比べて加速度を３次元的に検出しながら、加速度センサの構造を薄くして小型化を図ることができる。
技術概要
基板２３と、この基板に対しＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に揺動自在な揺動体とを備え、揺動体は第１揺動杆とこれに交差する第２揺動杆とを備え、両揺動杆の交差部を中心として反対方向に伸びる、合計４つの揺動杆部材の夫々には少なくとも１個の可動電極が形成され、基板側には可動電極の夫々に対向する固定電極が形成されて、少なくとも４個の電極対が形成され、第１揺動杆を構成する一対の揺動杆部材の夫々の可動電極と、これらに対向する固定電極とによって形成されている一対の電極対は、第１揺動杆の長手方向（Ｘ軸方向）の揺動に対し、一方の電極対の間隙が縮まり、他方の電極対の間隙が拡がるように設定され、第２揺動杆を構成する一対の揺動杆部材の夫々の可動電極と、これらに対向する固定電極とによって形成された一対の電極対は、第２揺動杆の長手方向（Ｙ軸方向）の揺動に対し、一方の電極対の間隙が縮まり、他方の電極対の間隙が拡がるように設定され、さらに、揺動体のＺ軸方向の揺動に対し、第１揺動杆の電極対の対向面積の変化と第２揺動杆の電極対の対向面積の変化とが逆になるよう固定電極と可動電極の関係が設定されている、加速度センサである。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
