適用製品
ガス中の酸素濃度分圧、不活性ガス、ＰＩＤ演算
目的
酸素の排気を極めて短時間に効率良く行うことが出来ると共に精度良く酸素分圧を制御することができる固体電解質型酸素分圧制御方法の提供。
効果
本技術によれば、酸素の排気を極めて短時間に効率良く行うことが出来ると共に精度良く酸素分圧を制御することができる。
技術概要
本技術の固体電解質型酸素分子排出装置の酸素分圧制御方法は、固体電解質型酸素分子排出装置とバイアス電源を備える固体電解質型酸素分子排出装置酸素分圧制御方法において、酸素分圧制御を、酸素分子排出装置内を流れる所定の電流がＶｔａｒｇｅｔ／Ｒより小さくなった時点で定電流モードから定電圧モードに切り替えて、目標とする酸素分圧で生じる逆バイアス電圧を相殺するようにバイアス電圧をかけて行う。ここで、バイアス電源は、酸素分圧に応じて定電流源動作と定電圧源動作に切り替える。
基本情報
開放特許情報
登録者情報
その他の情報
