適用製品
hBN結晶体からなる深紫外発光材料、超高密度光記録用の光エレクトロニクス、超微細光レーザ・メス
目的
深紫外発光に適し、かつ、大面積の六方晶窒化ホウ素結晶体を容易に製造する方法の提供。
効果
本技術によれば、六方晶窒化ホウ素結晶体を、従来の高圧発生装置および/または専用高圧容器サイズ等に依存することなく、既存の加熱装置のみで製造することができる。その結果、大面積/大型の六方晶窒化ホウ素結晶体が容易かつ安価に得られる。
技術概要
この技術では、窒化ホウ素原料として脱酸素処理を施した六方晶窒化ホウ素粉末を用いた。脱酸素処理は、真空中で1500℃1時間、次いで、窒素気流中で2000℃1時間行った。粉末の粒径は、0.5μmであった。金属溶媒として円盤状のNiを用いた。窒化ホウ素原料と金属溶媒とを1:10となるように秤量し、円盤状のNi上に窒化ホウ素原料を配置し、これを混合物とした。混合物をhBN焼結体で形成された容器に充填した。次に、抵抗加熱炉を用いて、混合物を加熱/溶融させ、溶融物を得た。具体的には、昇温速度250℃/時で1350℃まで昇温し、その後、1350℃で12時間保持した。次いで、溶融物を冷却させることによって再結晶させた。具体的には、降温速度4℃/時で1200℃まで溶融物を降温し、その後、室温まで放冷した。再結晶によって得られた結晶体に化学処理(塩酸−硝酸混合溶液)を行い、過剰な金属溶媒を除去し、結晶体のみを回収した。得られた結晶体を目視観察したところ、無色透明であった。