目的
この発明は、希土類六ホウ化物ナノワイヤを電子放出ユニットとして用いることで高放出電流密度熱イオンエミッタを提供する。
効果
この発明の方法によれば、ＲｅＢ６ナノワイヤ薄膜の構造により有効表面積は、堆積される薄膜領域の面積の１００００倍を越える。放出温度まで加熱した後の有効電子放出領域はナノワイヤの上面だけでなくその側面を含むため、有効放出面積が増大する。ＲｅＢ６ナノワイヤ薄膜は、ヒータ本体上に直接堆積することができ、より高い機械安定性が得られ、高い熱効率も達成することが出来る。
技術概要
熱イオン電子放出源は、ＴＶ陰極線管、電子顕微鏡、真空管、Ｘ線管、マイクロ波管、核加速装置等に用いられている。熱電子放出源としてはＲｅＢ↓６があるが、高密度ナノワイヤを形成することが望まれていた。この発明の熱イオン電子放出材料は、図に示される様な装置を用い、ＬａＣｌ↓３無水ビーズ３ｇ石英ボートに入れ、石英炉管中央域に設置される。Ｓｉ、グラファイト、ＷまたはＭｏの基板を石英ボートへのガス流の下流に設置する。Ｓｉを除く全ての基板をまず最初にＳｉ層、次にＰｔ層でコーティングし、Ｓｉ基板はＰｔ層のみでコーティングした。炉を０．００１ｔｏｒｒまで排気し、続いてガス圧を水素雰囲気で０．１ａｔｍに維持し、誘導石英管を通してＬａＢ↓６塩付近にＢＣｌ↓３ガスを導入する前に炉を１２００℃加熱し、その後５分間この温度維持する。この材料をエミッタ構造とするため、タングステン（Ｗ）フィラメントにＬａＢ↓６ワイヤ薄膜を堆積する。これらのＬａＢ↓６ワイヤ薄膜は、進行波管や透過型電子顕微鏡に使用される。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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