適用製品
有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ素子、有機論理素子等に有用な有機薄膜トランジスタに適用する。
目的
特定の薄膜を順次積層して構成される有機薄膜トランジスタを提供する。
効果
オフ特性を向上させ、よりオンオフ比が高く信頼性の高い有機薄膜トランジスタが可能になる。
技術概要
基板1上に、第一の電極(ソース電極)2、トンネル層としての機能を有する電荷注入障壁層(バリア層)3、第一の有機半導体層4、第二の電極(ゲート電極)5、第二の有機半導体層6、第三の電極(ドレイン電極)7を順次積層してなる積層構造を有する有機薄膜トランジスタにする(図)。好ましくは、バリア層3は、1nm以下、より望ましくは0.1〜1nmの厚みで、例えば酸化シリコン、酸化タンタル等の金属酸化物が用いられ、また、ソース電極2は、第一の有機半導体材料のHOMO(Highest Occupied Molecular Orbit)準位よりも小さな仕事関数を満足する金属的な性質の材料、例えばクロム、タンタル、チタン、銅等が用いられ、更にまた、第一の有機半導体層4は、ソース電極2の仕事関数よりも大きなHOMO準位を満足する有機半導体材料、例えばPentacene、α―NPD等が用いられる。尚、ゲート電極5、ドレイン電極7は、ソース電極2と同様の材料から構成され、第二の有機半導体層6は、第一の有機半導体層4と同様の材料が用いられる。