適用製品
位置決めテーブル、リニアガイド、ガイドブロック
目的
被案内体の案内体に対する位置決め精度を向上することができる位置決め装置、及び位置決め方法の提供。
効果
本技術の位置決め装置及び位置決め方法は、被案内体の案内体に対する位置決め精度を向上することができるという優れた効果を有する。
技術概要
この技術では、位置決め装置は、ガイドブロックがガイドレールに対し所定軌道を運動可能となるように転動体を介して支持されて構成されたリニアガイドと、ガイドブロックに移動力を付与するサーボ機構と、ガイドレール及びガイドブロックに超音波振動を付加するための加振装置と、加振装置及びサーボ機構を制御する制御装置とを備える。そして、制御装置は、ガイドブロックのガイドレールに対する位置決めが完了する前に、加振装置を作動してガイドレール、ガイドブロックに超音波振動を付加させ、かつガイドブロックのガイドレールに対する位置決めが完了する直前に、ガイドレール、ガイドブロックへの超音波振動の付加を停止する。