適用製品
スクイズ空気軸受、ボルト締めランジュバン型超音波振動子
目的
小型化を図ることができる非接触支持装置の提供。
効果
本技術の非接触支持装置は、小型化を図ることができるという優れた効果を有する。
技術概要
この技術では、ピエゾ素子に交番電圧を印加すると、ピエゾ素子は印加電圧の周波数に応じた周波数の超音波振動を生じる。この超音波振動は、縦振動伝達部の下端面からホーンに入力され、縦振動伝達部を軸方向に伝播し、また横振動伝達部のポアソン効果によって振動方向が９０°変換されて横振動伝達部を径方向に伝播する。縦振動伝達部を伝播した超音波縦振動は、縦振動伝達部の上端面に超音波振動を生じさせて回転浮上体のテーブル部との間にスクイズ空気膜を生成し、横振動伝達部を伝播した超音波横振動は、支持面に超音波振動を生じさせて回転浮上体の円筒部との間にスクイズ空気膜を生成する。これにより、回転浮上体は、スラスト方向及びラジアル方向共にホーンすなわち機台に対し非接触で（浮上して）、自軸廻りに回転自在に支持されると共に残余の５自由度が拘束される。このスクイズ空気軸受は、スクイズ空気膜の形成面として単純な形状である円筒面、平坦面としているので、構成部品の加工精度を高めてスクイズ空気膜の膜厚すなわちホーンと回転浮上体との隙間を小さく設定することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
