目的
投影レンズと基板（例えばウエハ）との間に供給された液体を基板とともに的確に移動させ、液体があるべき空間以外にその液体を滞留させることのない液浸露光装置を提供する。
効果
液体が供給される空間であって投影手段と被露光体との間に構成される空間を囲うように撥水特性を有する液体保持部材が配置されているので、投影手段（投影レンズ）と被露光体との間に供給された液体を露光位置の変化に伴って的確に移動させることができ、空間外の被露光体上への液体の流出を防止できる。
技術概要
液体を用いて被露光体に回路パターンを露光する液浸露光装置は、被露光体を保持する被露光体保持部材と、光源から所定のパターンを有する遮光材に光を照射する照射手段と、光にて照射されて形成される遮光材のパターンを被露光体に投影する投影手段と、被露光体と投影手段との間に構成される空間に液体を供給する液体供給手段と、空間に供給された液体を排出する液体排出手段と、投影手段の周囲に設けられ、投影手段における被露光体に対する露光位置が変化する際に、空間内に供給された液体を露光位置に保持するための液体保持部材と、を備え、液体保持部材が撥水特性を有する。液浸露光装置１００は、投影光学機構１４０とウエハ５０との間に形成された液体保持空間への液体の給排を行う液体給排装置２００を有し、その液体給排装置２００は、液体保持空間に液体Ｌを供給する液体供給装置２１０と、液体保持空間に供給された液体Ｌを回収する液体回収装置２２０と、液体保持空間に供給された液体Ｌを保持するための撥水特性を有する液体保持部材２３０と、液体保持部材２３０に電圧を印加する電圧印加手段２４０と、を有する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
