目的
光の干渉現象によらずに、膜厚を測定する方法及び装置を提供する。
効果
第２の撮像データからは境界面の位置を判定できるとともに、第１の撮像データと第２の撮像データとの差から表面の位置を判定できるため、表面の位置データと境界面の位置データとから、透明層の厚さを計測することができる。
技術概要
Ｓ偏光成分とＰ偏光成分とによって表面での反射率の大きさが異なる角度でレーザ光を透明層に入射し、第１の反射光と第２の反射光とを受光部にて撮像し、Ｓ偏光成分によるレーザ光の反射光を撮像した第１の撮像データと、Ｐ偏光成分によるレーザ光の反射光を撮像した第２の撮像データとを画像データ記録部に記憶し、第１の撮像データと第２の撮像データとの差から表面位置判定部にて表面の位置を判定し、第２の撮像データから境界面位置判定部にて境界面の位置を判定し、表面位置判定部にて判定した表面の位置データと、境界面位置判定部にて判定した前記境界面の位置データとから、透明層の厚さを計測する。透明層は透明体からなる塗装膜であり、不透明層はアルミ粉末などからなるメタリック層である。反射が少ない透明層１と、透明層１との境界面において反射する不透明層３とが積層され、透明層１の表面に向けてレーザ光を照射し、表面での第１の反射光２Ｘと、境界面での第２の反射光３Ｘとから透明層１の厚みを計測する。
改善効果１
不透明層が金属粉末を塗布したようなメタリック層のように、境界面が乱反射を生じるような測定物においても、透明層の厚さを正確に計測することができる。更に、非接触にて計測を行うことができるため、透明層が半乾きの状態で測定を行うことができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
