目的
溶液の化学反応を行うマイクロ流路内の物質の反応分布もしくは物質の濃度分布を検出する装置の提供を目的とする。
効果
流路の一部を構成する物質感応膜に対応する物質検出プレートにパルスレーザー光を照射することで、照射位置に対応する流路内における被検出物質の量に依存する振幅強度を持ったパルス電磁波を効率よく発生させ、その振幅強度を計測することで、被検出物質の有無を検出する定性的な評価や、定量的な評価を行うことができる。 従って、流路中の任意の位置の物質の計測を高分解能(1μm以下)で行うことが可能である。これにより流路全体の連続的な計測を可能とし、溶液中の物質の反応分布もしくは物質の濃度分布を調べることが可能となる。
技術概要
半導体と物質感応膜を備える物質分布計測装置は、パルスレーザー光を照射し、半導体において発生する電磁波を検出することで、溶液中の被検出物質の有無を判別している。 具体的には、溶液の化学反応を行うマイクロ流路内の物質の反応分布もしくは物質の濃度分布を検出している。 この物質分布計測装置は、半導体上に作製される絶縁体上に物質感応膜を作製した物質検出プレートと、物質検出プレート上に溶液の流路を形成する流路形成部と、溶液の電位を安定させる手段とを備えている。さらに、半導体側から流路側にパルスレーザー光を照射する手段と、パルスレーザー光を物質検出プレートに対して2次元的に走査させる手段と、パルスレーザー光を物質検出プレートに照射することで発生するパルス電磁波の振幅強度を計測する手段と、振幅強度より、被検出物質を定性的もしくは定量的に計測して流路内の溶液中の物質の反応分布もしくは濃度分布を得る手段を備えている。 物質感応膜が流路の内壁面の一部を構成している。