目的
沸点・融点が高く分子量が大きい有機物を高感度で測定することができ、かつ高温でも使用可能なセンサー用素子を低コストで提供する。
効果
沸点・融点が高く分子量が大きい有機物を高感度で測定することができ、かつ高温でも使用可能なセンサー用素子を低コストで得ることができる。この有機物センサー用素子は、測定温度90〜500℃、特に100〜350℃の範囲で、測定対象とする有機物の種類や測定条件、或いは素子の製造条件に応じた特定の温度±5℃で、対数電気抵抗率の傾きが0.02logΩcm/℃以上変化するものであり、測定対象とする有機物の有無を高感度で検知することができる。
技術概要
Ni及びOを含む粒子の焼結体又は薄膜からなり、かさ密度が45−80%である有機物センサー用素子である。この有機物センサー用素子は、粒子がNi、Fe及びOを含む粒子であり、また、粒子がNi、Fe及びOのみからなる粒子であり、また、測定対象とする有機物の沸点が110〜500℃であり、また、測定対象とする有機物がキシレン又は酢酸ブチルであることが好ましい。さらに、Ni及びFeの硝酸塩をクエン酸水溶液に溶解し、エチレングリコールと重合した後に成形し、大気中で加熱して焼成する有機物センサー用素子の製造方法である。また、NiO及びFe↓2O↓3粉末を混合後成形し、大気中で加熱して焼成する有機物センサー用素子の製造方法である。さらに、この方法では、Ni細線とFe細線をより合わせて充電されたコンデンサーに接続し、大気中でパルス通電加熱することにより急速蒸発・酸化させて酸化物粉末を合成し、これを成形後大気中で加熱して焼成することが好ましい。