適用製品
微細凹凸、液晶パネル、光学素子、回折光学素子、半導体製造技術
目的
表面だけに加工を施すにも関わらず、加工試料全体を加熱して軟化させているため、エネルギーロスが大きいことに鑑み、ガラス部品の精度を維持しつつ、エネルギーロスを伴わずに、局部表面に効率よく微細構造を形成し、ガラス部品の高付加価値化を図ることができるレーザインプリント装置を提供し、また、その方法を提供することの実現。
効果
ガラス表面に型形状を転写する際に、レーザ光線を照射してガラスの表面部分のみを局所的に軟化させている。そのため、エネルギーロスを伴わずに、ガラス鏡面の所望局所に、効率的に型形状を転写することができ、レーザ照射域以外の状態は維持しながら、ガラス部品の高付加価値化を図ることができる。レーザ加工では、３次元方向の加工形状に制約があるが、このレーザインプリント方法は、レーザ加工での形状精度の向上を可能にする。
技術概要
この技術では、レーザインプリント装置は、ガラス素材から成る被加工物の表面にインプリント加工により１または複数個の凸状部を形成する装置であって、レーザ光を透過する材料で構成され、凸状部に対応する凹状部が被加工物の加工面と密着する型面に形成されている型部材と、型部材の型面を被加工物の加工面に密着させる密着手段と、型部材を介して被加工物にレーザ光を照射し、レーザ照射位置の被加工物を軟化・膨張させるレーザ照射手段と、を備える。この装置のレーザ照射手段によりレーザ光が照射されたガラス表面は、軟化して型部材の凹状部の中に膨張し、そのため、型部材の凹状部に対応する凸状部がガラス表面に転写される。また、密着手段が、被加工物の加工面を型部材の型面に０．２４ＭＰａ以上の圧力で押し付けるように構成することもできる。型部材への押付け圧力を大きくすると、型部材の凹状部の細かい形状が被加工物に転写される。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
