適用製品
高品質の自己組織化単分子膜を作製するシステム
目的
自己組織膜形成材料を化学蒸着する、気相法によって高品質の自己組織化単分子膜を作製する方法を提供する。
効果
自己組織化単分子膜形成材料を、気相法によって効率よく利用することができ、液相法に比べて廃液量を低減し得るので環境への負荷が少ない、より高品質の単分子膜を得る事が出来る、等の利点を有する。
技術概要
基材に自己組織化単分子膜（ＳＡＭ）形成材料を化学蒸着することによって、その基材上に自己組織化単分子膜を作製するにあたり、基材の温度を雰囲気温度よりも低い温度（例えば、６０℃以上低い温度）に維持して冷却しつつ化学蒸着を行い、ＳＡＭを得る。ＳＡＭ形成材料は、ハロシラン（トリクロロシラン等）を使用し、基材は、シリコン基板などとし、ＳＡＭ作製の前に、酸素を含む雰囲気下で基材表面に真空紫外光を照射して基材表面に水酸基を導入する処理をするのが好ましい。基材は、他にガラス、金属（例えば、銅、アルミニウム、ゲルマニウム等）、ポリマー材料（例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等）とする事が出来、ＳＡＭが形成される表面部分はシリコンとするのが好ましい。ＳＡＭ形成材料を蒸気として基材の表面に導き、ＳＡＭを形成させ、その形成面を微小角入射Ｘ線回折法により分析してＳＡＭの配向性を評価する事が出来る。分子配置が規則的な配向性を有するＳＡＭは、格子間距離（間隔ｄ）に対応する横軸の波数ベクトルｑにピークを認める事が出来、規則的な配向性を有するＳＡＭの形成を確認することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
