機能
機械・部品の製造
検査・検出
制御・ソフトウェア
適用製品
血管拡張用ステント、回路検査用コンタクトプローブ、注射針、医療用検査プローブ等の小径軸の加工対象物を高精度にレーザ加工し、電解仕上げ加工する高精度レーザ加工およびレーザ・電解複合加工装置。
目的
加工用レーザ光源を用いて微小ワークの形状、位置、姿勢、およびレーザとの相対位置を計測できるようにすることにより、画期的かつ独自性の高い高精度レーザ加工装置を提供すること。
効果
計測位置と加工位置のずれがない形状計測／加工が可能となり、保持誤差のあるワークに対してもレーザを正確な位置に照射することができる。また、計測用レーザ，専用光学系を必要としないため、システムの飛躍的な小型化が実現できる。
技術概要
高精度レーザ加工装置は、レーザ加工装置およびワーク保持具を支持するスピンドル、レーザ加工装置とスピンドルとをＸＹＺ方向に相対移動させる移動ステージを備える。 レーザ加工装置は、レーザ発振器、加工用レーザ光と計測用レーザ光を出射するレーザ光出射手段のレーザヘッドと、ワークで反射された計測用レーザ光の反射光量を測定する反射光量測定手段と、計測用レーザ光の反射光を用いてワークを撮影可能な撮像素子と、レーザヘッドから出射された加工用レーザ光および計測用レーザ光の光路を形成する光学系と、加工用レーザ光と計測用レーザ光の光軸方向で、レーザヘッドに対して、ワークよりも離れた位置に配置され、計測用レーザ光を反射する反射板と、移動ステージ、レーザ発振器、反射光量測定手段および撮像素子を制御する制御手段とを備える。 計測用レーザ光を用いてワークの初期位置、および、ワーク保持手段によりワークを所定角度回転させたときの回転位置を計測して、制御手段によりワークの３次元位置を把握し、ワークの加工照射点を求めることによりワークの保持誤差を補正するワーク保持誤差補正手段を備える。 レーザー加工装置のステージに電解加工装置を載置する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
