適用製品
粒子の３次元速度、粒径、デジタルホログラフィ、干渉縞
目的
粒径および３次元位置を計測し得る粒子計測装置を提供すること、３次元位置演算に用いるパラメータの校正（カメラ校正）のための作業が簡易な粒子計測装置を提供することの実現。
効果
第１ビームが当たった粒子の０次反射光と１次屈折光の光強度が同等となる散乱角となる受光角で計測対象領域を撮影するので、第１電子カメラの撮影画面上に現れる１粒子の輝点対（２像）の輝度が同等であり、輝点対の識別抽出の精度が向上する。第１電子カメラの結像面を、粒子像内に干渉縞を生ずる焦点外れ位置とすることにより、第１電子カメラの撮影画面上の粒子像内に現れる干渉縞が明瞭になり、粒径計測の精度を高くすることができる。
技術概要
この技術では、粒子計測装置は、レーザビームを出射するレーザ光源と、レーザビームを、第１ビーム、第２ビームおよび第３ビームに分岐するビームスプリッタと、第１ビームを計測対象領域に照射する第１光学手段とからなる。さらに、計測対象領域を照射する第１ビームに対して、第１ビームが当たった粒子の０次反射光と１次屈折光の光強度が同等となる散乱角となる受光角で計測対象領域を撮影する第１電子カメラを備える。そして、第２ビームを、第１参照光として第１電子カメラに投射する第２光学手段、および、第１電子カメラの光軸に対してステレオ角をなし、かつ第３ビームが第２参照光として投射される第２電子カメラを備える。第１および第２電子カメラの撮影画面上の同一の粒子像に３次元ＰＴＶを適用して粒子の３次元位置を算出することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
