適用製品
棒状部材加熱装置、棒状部材溶融装置、単結晶製造装置等に有用なレーザによる棒状部材の等方的集中加熱に適用する。
目的
レーザ光源と棒状部材とを特定に配置する棒状部材の等方的集中加熱法を提供する。
技術概要
レーザ光源1と光学系(例えば、コリメートレンズ2)を用いて調製した複数の同等の照射強度分布を備えたレーザ光線による照射を、加熱されるべき棒状部材4の軸心に向けて放射方向から行い、この棒状部材4の周面を周方向に均等に加熱する棒状部材の等方的集中加熱法にする(図)。複数のレーザ光線は、3以上で奇数設けることが好ましい。これにより、加熱目的に応じて、棒状部材を放射方向から加熱するレーザ光線数とその配置を最適化することによって、従来の不均一な加熱の問題を解消することができ、また、棒状部材の周囲に放射方向に配置した複数のレーザ光線の数を、等角度間隔にするなどして増やすにつれて円周方向の強度の均一性が、より向上する等の効果を奏し、例えば、棒状部材の周面における溶融や単結晶の成長等について、均等な結果を得られるようになる。