適用製品
平面ディスプレイ、発光素子、反射防止構造
目的
垂直から入射した透過型の回折格子について、光が表面に垂直に入射したときに、反射率が十分に小さく、しかも、反射回折角度分布および透過回折角度分布、さらに全反射率が、波長により大きく変化しない周期や深さの領域を設計、作製することの実現。
効果
異なる2つの媒体の界面での高い透過率を与えると同時に適度に反射または透過拡散をさせ、しかも、透過率や拡散角度の波長依存性の小さい凹凸を与えることが可能となる。
技術概要
この技術では、凹凸を持つ媒体1と媒体2の界面に対して光が入射するときに、凹凸の平均溝幅をΛ、平均深さをd、媒体1での波長をλ1、媒体2での波長をλ2として、0.45×Λ<d,4<Λ/λ1<120但し、λ1>λ2の条件を充たす平均溝幅Λと平均深さdを持ち、かつ深さ方向への平均屈折率が連続的に変化することによって界面での全反射率を低減することを特徴する複数の波長に対応した反射防止構造を提供する。反射防止構造では、凹凸の溝幅の80%以上がΛ±4%に入っており、しかも、0.45×Λ<d,8<Λ/λ1<40の条件を充たす溝幅と深さを持つことによって界面での全反射率を低減する構成としてもよい。反射防止構造では、凹凸の溝幅の80%以上が、平均溝幅×{1±λ1/Λ}の範囲に入り、しかも、溝幅の50%以上が平均溝幅×{1±λ1/(5・Λ)}の範囲に入らない構成としてもよい。