適用製品
開口パターン付き薄板の研磨システム及び磁気研磨装置
目的
開口部を形成した後の表面及び開口部壁面の研磨を、一工程で行うことができる開口パターン付き薄板の研磨方法及び磁気研磨装置を提供する。
効果
レーザ等によって開口された開口部を有するメタルマスク等の開口パターン付き薄板の研磨において、薄板の表面部及び開口部内面を精度高くかつ制御性良く、一工程において研磨可能である。このため、メタルマスク等の研磨工程が短縮できコストダウンが期待できると共に、研磨廃液の処理が不要となるので環境に優しい工程となる。また、電解研磨と異なり、研磨対象物の一部分のみを選択的に研磨を行うことも可能であり、マスクパターン等の部分的欠陥の補修等にも利用が可能となる。
技術概要
開口パターン付き薄板の研磨方法を実施するには、例えば、図１に示すように、被加工物１である薄板を挟んで、１対の磁石２、２を互いの磁極が対極となるように離間配置し、この磁石間に磁性研磨材３を存在させ、磁石及び／又は薄板を、そのほぼ面内において、回転及び／又は振動させることにより研磨を行うことにより行ない得る。なお、被加工物１の開口パターン内部及び表面部を効率的に研磨しようとする場合には、図２に示すように、磁性研磨材３としての磁性研磨粒子に加えて、研磨バフ４を併用することが好ましい。好ましく用いることのできる磁性研磨粒子の一例としては、例えば、図３に模式的に示すように、樹脂粒子等の核粒子の表面に無電解めっきにより磁性層を形成し、この無電解めっき層表面に、ダイアモンド粒子等の研磨粒子を固着させたもの（複合磁性砥粒）を例示することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
