目的
この発明は、製造精度の高いファイバブラッググレーティング(FBG)を備えた光部品の製造方法及び同光部品の製造装置、並びにFBGの調整方法、FBGの消去方法を提供する。
効果
この発明の方法によれば、光ファイバーの所定位置に形成したFBGに紫外光を照射してFBG部分の屈折率を調整するもので、屈折率をFBGの形成後に調整することにより、特性のバラツキを抑制できる。また、FBG部分に照射する紫外光の照射量を調整することによって、FBG部分の屈折率を均一化させてFGBを消去することもでき、また消去後にFBGを再度形成することもできる。
技術概要
FBGは、光ファイバのコアの一部に屈折率の高い部分と屈折率の低い部分を長手方向に一定間隔で交互に配置して回折格子(グレーティング)を形成したもので、FBGが形成された光ファイバに光を入射させると、回折格子の回折条件に基づいた反射光が発生される様になっている。しかし、これまでの製造方法では、FBGの特性の製造時のバラツキが大きくひずみセンサなどに使用するための十分な精度が得られなかった。 この発明の製造装置は、図に示される様なもので、光部品を収容する容器、FBGより反射される光の波長を測定する計測器、紫外線照射光源、窒素ボンベから構成されている。光部品は、コアにゲルマニウム原子がドーピングされた光ファイバで、その容器内を窒素雰囲気とした後、フェーズマスク越しに波長248nmの紫外線レーザを照射してFBGが形成される。このFBG部分に波長146nmの紫外光を照射することにより、屈折率のバラツキを抑制することが出来る。